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曝光机CCD对位系统
一、项目背景: 如今传统手动曝光机,用人工来进行菲林与底板手工对位精度在100um左右;而且重复靠人眼对位,劳动强度非常大,年轻人不愿承担。采用全自动CCD视觉对位系统,达到高精度,高速度的工艺需求,极大得提高客户曝光机核心竞争力。
 
二、方案设计:
工作原理:  
 
四组对位,将两组靶标点进行居中分配。
同时,对四组靶标进行监控,保证对位精度



 

三、技术参数: 系统名称:IPS6000 CCD精密对位系统
硬件平台:Windows
对位精度:5um-30um(随视野大小变化)
对位时间:小于1秒
对位补偿功能:有
相机个数:2或4个
靶标类型:圆、直角、边、方形等
对位平台:XXY平台、XYθ平台
 
四、系统特点: 1.系统稳定,性价比高。系统硬件采用国外进口配件,系统稳定,性价比优势明显;
2.处理速度快,对位精度高。对位速度小于1s,对位精密,对位精度可高达5um;
3.系统集成快、匹配迅速。现场调试时间最快4小时,客户将以最快速度用到我们系统;
4.操作简单,界面简洁。开机即可直接工作,普通员工即可操作;
5.具有补偿功能。微米级调整,工业级应用;
6.具有防呆功能,无误操作;
7.系统定制。能根据客户需要定制系统和对系统进行修改,体现系统唯一性。
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